Títan smíða kringlótt markmið

Títanamarkmið er afurð títans með mikla opnleika eftir vinnslu og er gerð úr þunnum filmu með líkamlegri gufuútfellingu. Notað sem hindrunarlag fyrir álvír í hálfleiðara flísum.

1. Helstu kröfur um frammistöðu Títan markmið

(1) Útlitsgæði: Áður en hann yfirgefur verksmiðjuna ætti að hreinsa títanmarkmið án ryks og yfirborðið ætti að vera hreint. Eftir að hafa klárað yfirborð títanmarkmiðsins ætti ójöfnur á yfirborði að uppfylla kröfur viðskiptavina.

(2) Innri gallar: Það ættu ekki að vera neinar innifalin, svitahola, sprungur og aðrir gallar inni í títanmarkmiðinu.

(3) Samsetning: Títanamarkmiðið er skipt í hreint títanamarkmið og álfelgamarkmið, álfelgamarkmið, þar með talið títan álmarkmið, Titanium Nitride Target, Titanium Alloy Boride Target, o.fl. Hreinleiki markefnisins er 99,9%-99. 999%.

(4) Kornastærð: Títan markkorn eru einsleit og fín og meðalkorninu er yfirleitt stjórnað sem minna en 50μm.

(5) Áferð: Kristalstefna títanumarkmiðsins<002>er ákjósanlegt og meira en eða jafnt og 35%.

(6) Geometrísk stærð: Stærð títanmarkmiðsins er breytileg eftir kröfum notkunar og þvermál er almennt 200-460 mm.

Skipta má títanamarkmiðum í stök títanmarkmið og soðin títanamarkmið í samræmi við uppbyggingu þeirra. Ekki þarf að soðna stakan títanmarkmið og billet -vinnslan er samþætt. Soðið títanamarkmið er að suða títanmarkmiðið autt með bakplaninu, algengu suðuaðferðirnar fela í sér lóða og dreifingar suðu. Efni á bakplani eru með kopar- og kopar álfelg, ál- og álblöndu, o.s.frv. Eftir suðu er ultrasonic uppgötvun gerð til að tryggja að tengingin milli markmiðsins og bakplansins hafi ákveðinn tengingarstyrk til að forðast vandamál eins og að falla af stað og sprunga við sputtering. Tafla 9-23 lýsir suðu gæðakröfum fyrir títanmarkmið.

2. Undirbúningur Títanamarka

Hreint títanamarkmið er almennt útbúið með heitu pressunarferlinu við að bræða Ingot. Títan -álamarkmiðið var framleitt með duftmálmvinnslu.

Heitt pressunarferlið er byggt á háu hreinleika títan ingot sem fengin er með bráðnun. Smásjánni og lögun og stærð billet er stjórnað með því að smíða, veltingu, annealing og aðra plastvinnslutækni og þá er billetinn gerður til að fá títanmarkmiðið. Eftir að hafa smíðað, veltingu og glæðandi ferli hefur títanmarkmiðið fínt og samræmt korn og yfirburða áferð, sem getur uppfyllt kröfur títanmarkmiðsins í sputtering ferlinu. Tapið í bræðsluvinnslunni er stórt, þar með talið tapið í bræðslusteypuferlinu, tapið á smíðun og veltiferli vegna þess að það þarf að snúa oxíðskýli og tapið á skurðarvinnslunni er einnig til staðar, þannig að endanleg nýtingarhlutfall er um 80%.

Fyrir TIB2, TIAI og önnur álfelgamarkmið er auðvelt að sprunga meðan á smíðinni stendur og það er hentugra fyrir duft málmvinnslu, það er að segja títanduft og aukefni notuð sem hráefni, með duftblöndunarferlinu, og þá er billet -markið unnið með heitu ýti eða heitu isostatic pressing krafti og síðan er Titanium Alloy markið fengið. Púður málmvinnsla er ákjósanlegasta aðferðin til að undirbúa Títan álmarkmið vegna þess að hún getur myndað autt í einu, hefur hátt efni nýtingarhlutfall og getur auðveldlega bætt við málmblöndu. Vandamál málmvinnslu dufts eru hreinleiki efnisins, einsleitni ál samsetningarinnar og þéttleiki. Efnislegir innri gallar og aðrir þættir stjórnunarkrafna eru miklir.

Vinnureglan um títanmarkmið er tengd röð eðlis- og efnafræðilegra viðbragða og er mikið notuð við eðlisfræðilega gufuútfellingu (PVD), þar með talið magnetron sputtering, jón geisla sputtering og aðrar aðferðir. Í þessum aðferðum eru Títan markmið lykilhráefni.

 

maq per Qat: Titanium Forging Round Target, Kína Títan Forging Round Target Framleiðendur, birgjar, verksmiðja